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晶圆上蜡机
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半自动上蜡机

型号：DL-SL305A/SL360A

半自动上蜡机采用固态蜡熔蜡方式，精确、定量滴蜡；精密气压控制，可精准控制蜡厚，贴片后的TTV≤5um。

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半自动上蜡机
设备优势

◎ 采用固态蜡熔蜡方式，精确、定量滴蜡。


◎ 加热冷却盘内部采用精密加热和自动冷却系统，可精确控制盘面温度。


◎ 采用独立气缸压片方式，精密气压控制，可精准控制蜡厚。


◎ 贴片后的TTV≤5um。

性能参数
参数名称单位DL-SL305ADL-SL360A
晶圆尺寸inØ4'' (Ø2''/Ø4'')

Ø6'' (Ø4''/Ø6'')

陶瓷盘尺寸mmØ305x15Ø360x15
喷蜡量
g0.1~0.350.1~0.35
加热盘温控范围℃60~180

60~180

上蜡厚度TTV
um≤5≤5
喷蜡重复定位精度mm±0.05±0.05
喷蜡精度g±0.02±0.02
加压气缸Kg500~1000500~1000
设备尺寸（W x D x H）mm1350x1350x17001550x1550x1900
设备重量Kg约800约1000
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