深圳市梦启半导体装备有限公司

晶圆抛光机厂家
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梦启半导体装备玻璃研磨解决方案

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发布时间 : 2026-08-24 09:21:01

梦启半导体团队拥有半导体大厂(世界500强)工作经历、20年以上半导体封测经验、专攻削磨抛设备技术/工艺多年,为国内外众多行业提供研磨解决方案,玻璃研磨是其中之一。

 

一、玻璃研磨

主要为光学玻璃、石英玻璃、视窗防护玻璃、后盖玻璃等产品提供精密研磨设备和服务。

内页图.jpg


 1. 去除损伤层

前道铣磨 / 粗磨会在玻璃表面产生微裂纹和亚表面损伤层(深度可达几十微米),研磨的首要目的就是去除这层损伤,避免后续抛光后缺陷暴露。

 

 2. 保证面形精度

通过研磨将工件加工到接近设计的曲率半径面形精度PV/RMS)和尺寸公差,为抛光工序奠定形状基础。抛光去除量很小(通常仅微米级),面形主要靠研磨保证。

 

3. 降低表面粗糙度

将粗磨后的粗糙表面(Ra 通常数微米)加工到亚微米级粗糙度,使表面均匀细腻,减少抛光时间和抛光面形畸变风险。

 

 4. 消除表面缺陷

去除划痕、麻点、崩边、烧伤等宏观缺陷,获得均匀一致的加工表面。

 

5. 改善表面一致性

批量加工中保证各镜片之间面形、厚度、曲率的一致性,便于后续镀膜和装配。

 

一、解决方案

梦启半导体为客户提供一站式解决方案,助力精品打造。客户可根据实际需求,选择常规方案,或根据实际情况、特殊工艺需求,定制方案。

 

1. 全自动双工位减薄研磨机

核心特点:全自动高精密,多工位同步运行,产出高效优质,采用

自主产权静压气浮磨削主轴

工件尺寸:可进行4(40μm)~12(80μm)超薄工件加工,兼

容Φ100~300mm工件磨削减薄加工

适用场景:玻璃、太阳能电池片、LED芯片、硅片、蓝宝石片、砷化镓、氮

化镓、钽酸锂、铌酸锂等硬脆材料的粗磨、精磨


2. 全自动双工位倒角机

核心特点:全自动高精密,双工位同步运行,产出高效优质,自主

研发磨削主轴、承片主轴、视觉定位和测厚系统

工件尺寸:可进行Φ4"、Φ6"、Φ8"、Φ12",0.4mm-1.5mm厚的工件双面倒角加工

适用场景:玻璃、太阳能电池片、LED芯片、硅片、蓝宝石片、砷化、氮

化镓、钽酸锂、铌酸锂等硬脆材料的边角研磨


3. 抛光机

主要应用于化合物半导体行业、硅基领域。如:玻璃、硅片、蓝宝石、碳化硅、金刚石、砷化镓、氮化镓钽酸锂、铌酸锂等硬脆材料的表面抛光

(1)铜抛机

(2)CMP软抛机



文章链接:https://www.szdlse.com/news/389.html
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