深圳市梦启半导体装备有限公司

晶圆抛光机厂家
晶圆抛光机厂家

全自动晶圆减薄机有哪些特点

浏览量 :
发布时间 : 2024-09-13 11:10:20

       晶圆减薄机,特别是全自动晶圆减薄机,在半导体制造和精密材料加工领域扮演着至关重要的角色。以下是对这两种设备的详细解析:

晶圆减薄机.jpg

       一、晶圆减薄机概述

       晶圆减薄机是一种专门用于将晶圆(如硅晶圆、蓝宝石等)表面材料去除,实现减薄的设备。其工作原理主要是通过物理或化学方法,如研磨、抛光或腐蚀,去除晶圆表面的一层或多层材料,以达到减薄的目的。

       二、全自动晶圆减薄机特点

       高度自动化:全自动晶圆减薄机集成了先进的自动化控制系统,能够实现晶圆的全自动上料、定位、夹紧、减薄、下料等全过程的自动化操作,大大提高了生产效率和一致性。

       高精度:通过精密的机械系统和控制系统,全自动晶圆减薄机能够实现对晶圆减薄过程的精确控制,确保减薄后的晶圆厚度均匀、表面质量高。

       多功能性:一些高端的全自动晶圆减薄机还具备多种加工模式和参数可调功能,能够适应不同材料、不同厚度的晶圆减薄需求。

       稳定性与可靠性:全自动晶圆减薄机采用优质的材料和先进的制造工艺,确保设备在长时间运行过程中的稳定性和可靠性。

       三、全自动晶圆减薄机应用

       全自动晶圆减薄机广泛应用于半导体制造、集成电路封装、光学材料加工、薄膜材料制备等领域。在半导体制造中,晶圆减薄是制造超薄芯片的关键步骤之一,能够显著提升芯片的集成度和性能。

       四、市场与趋势

       随着半导体技术的不断发展和市场需求的不断增长,全自动晶圆减薄机在市场上的需求也在不断增加。未来,全自动晶圆减薄机将继续向高精度、高效率、高自动化的方向发展,同时更加注重设备的智能化和环保性能。

晶圆减薄机.png

       全自动晶圆减薄机具体产品示例:

       以深圳市梦启半导体装备有限公司生产的DL-GD2005A全自动晶圆减薄机为例,该设备具备以下特点:

       1、设备配有MARPOSS在线测量仪单元,加工时实时测量产品厚度,精确控制减薄厚度。也可选配非接触测量NCG单元;

       2、减薄单元采用轴向进给(In-Feed)磨削原理,兼 容Φ100~300mm晶圆磨削减薄加工;

       3、全自动上下料。可进行4寸(40um)~12寸(80um)超薄晶圆加工;

       4、分别在前面、左面、右面各配置了1台触摸式液晶显示器,方便在不同区域作业需求,提高了操作便利性。控制画面可同步显示加工状况和设备状态,操作人员只要触摸控制画面上的按钮,就可以简单地完成操作。

       全自动晶圆减薄机技术参数:

       品圆尺寸:B8"(04”106 “/08”)in

       砂轮直径|:0250 金刚石砂轮mm

       主轴额定功率:7.5/12.9KW

       主轴额定转速:4000rpm

       片间厚度变化磨削精度:≤±2μm

       TTV磨削精度:<2μm

       表面粗糙度Ra磨削精度:0.15(#2000)μm

       这些参数表明,FD-150A全自动晶圆减薄机具有较高的加工精度和灵活性,能够满足不同客户的加工需求。

       综上所述,全自动晶圆减薄机以其高度自动化、高精度、多功能性等特点在半导体制造等领域发挥着重要作用,并随着技术的不断进步和市场需求的增长而不断发展壮大。


文章链接:https://szdlse.com/news/311.html
推荐新闻
查看更多 >>
晶圆减薄机的TTV指标 晶圆减薄机的TTV指标
2024.08.05
晶圆减薄机的TTV(Total Thickness Variation,总厚度变化)指标是晶圆减薄过...
半导体制造领域的重要一环,国产晶圆抛光机突破国外技术封锁 半导体制造领域的重要一环,国产晶圆抛光机突破国外技术封锁
2023.08.08
晶圆抛光机,是一种用于半导体制造的重要设备。在半导体行业中,晶圆抛光是一个不可或缺的工艺步骤,它能有...
晶片减薄机的发展趋势 晶片减薄机的发展趋势
2024.01.04
随着科技的飞速发展,晶片减薄机在许多高科技领域都扮演着不可或缺的角色。无论是手机、电脑、汽车还是医疗...
CMP抛光机有哪些优点和缺点 CMP抛光机有哪些优点和缺点
2024.09.19
CMP抛光机,也称晶圆抛光机;有单面抛光机和双面抛光机,在半导体制造及相关领域中具有...
探讨硅片抛光设备的重要性与应用 探讨硅片抛光设备的重要性与应用
2024.04.10
在半导体行业中,硅片抛光设备无疑是制造过程中不可或缺的一环。其以精湛的技术和高效的性能,为半导体产品...
晶圆倒角机常见问题及解决方法 晶圆倒角机常见问题及解决方法
2024.01.22
晶圆倒角机是半导体制造过程中用于对晶圆进行倒角处理的设备。在晶圆的加工过程中,为了满足特定工艺的需求...
520的浪漫工艺:晶圆减薄机与抛光机的甜蜜配合 520的浪漫工艺:晶圆减薄机与抛光机的甜蜜配合
2024.05.20
在半导体制造过程中,晶圆减薄机和晶圆抛光机是两个不可或缺的环节,它们之间的配合对于保证最终产品的质量...
 晶圆抛光机和研磨设备有什么区别? 晶圆抛光机和研磨设备有什么区别?
2024.11.02
晶圆抛光机和研磨设备在半导体制造中虽然都用于处理晶圆表面,但它们在原理、应用场景、处理效果...